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北京科创鼎新真空技术有限公司

浅述真空系统中真空室加工工艺

2021.11.19

真空系统的核心是真空室,它是针对具体应用量身定做的。它包括应用并将其可靠地与外部分离或防止环境受内部流程影响。不管干燥过程是否需要高真空环境,等离子体过程都需要在中或高真空环境下进行,而表面研究也需要在高真空环境下进行:–真空室必须始终机械地承受其与大气的压差。

欧盟标准规定真空容器不受基于设计和计算的具体准则的影响。它们不是压力设备(压力设备指令2014/68/EU适用于具有内部压力大于500hPa的部件),而且根据机械指令2006/42/EC它们不属于机器。然而,它们必须以安全可靠的方式进行设计、计算和生产,并在交付前进行测试。

圆柱管、球体、平板或模具配件壁厚的计算,如盘形底,可使用AD-2000手册进行。AD2000规定实际上是“压力容器工作委员会”设计制定的,用于对压力容器的计算,但也描述负载条件“外部过压”。在这里,您将发现,例如,计算所需壁厚的方程包括圆柱管的“弹性屈曲”或“塑性变形”等。

由于矩形腔室或类似设计,必须检查表面偏转和出现的张力。如果它们过高,必须增加壁厚或对该区使用进行加固,如通额外的焊接肋板。为此,可以使用采用有限元法(FEM)执行机械计算的程序来优化腔室设计。除允许的机械应力外,也有必要检查在负载条件“外部环境、真空内部”下密封面是否互相保持齐平。如果密封面歪曲,可能发生泄漏,阻碍腔室的使用。