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北京科创鼎新真空技术有限公司

等离子体放电装置

等离子体放电装置

产品详情

技术参数:

1.抽气速率:主泵600L/s,机械泵4/s

2.设计标准限值:5.0x10-5Pa

3.使用真空度:≤5.0x10-2Pa

4.冷却方式:自然冷却;

5.真空腔体:直径300mm,高度400mm304不锈钢,顶部开门;

6.观察窗:正对方向200mm

7.四路气体接口;

8.质量流量计:2台质量流量计,一台控制显示器,流量100ml/分钟;

9.六路真空航插接口。

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